클린룸의 부유입자 측정은 크게 측정 방법, 측정 위치, 측정 기준, 측정 주기 4가지 요소로 이루어집니다.

1. 측정 방법

클린룸의 부유입자 측정 방법은 크게 광학적 방법과 입자 계수기를 이용하는 방법으로 나눌 수 있습니다.

• 광학적 방법은 빛의 산란 현상을 이용하여 부유입자의 크기와 농도를 측정하는 방법입니다. 대표적인 광학적 방법으로는 라이트 산란 방식과 암시야 현미경 방식이 있습니다.

  • 라이트 산란 방식은 레이저 빔을 입자에 조사하고 산란되는 빛의 강도를 측정하여 입자의 크기와 농도를 계산하는 방법입니다.
  • 암시야 현미경 방식은 필터를 통해 빛을 차단하고 입자의 그림자를 관찰하여 입자의 크기와 농도를 계산하는 방법입니다.

• 입자 계수기는 입자를 직접적으로 감지하여 크기와 농도를 측정하는 방법입니다. 대표적인 입자 계수기로는 공기 부유 입자 계수기와 응축 입자 계수기가 있습니다.

  • 공기 부유 입자 계수기는 입자를 광학적 또는 전기적 방법으로 감지하여 크기와 농도를 측정하는 방법입니다.
  • 응축 입자 계수기는 입자를 증발시킨 후 응축시켜 빛을 차단하고, 그 빛의 감소량을 측정하여 입자의 크기와 농도를 측정하는 방법입니다.

2. 측정 위치

클린룸의 부유입자 측정 위치는 다음과 같습니다.

• 작업 영역
• 공기 청정 장치 입구 및 출구
• 벽, 바닥, 천장
• 기타 오염이 예상되는 위치

3. 측정 기준

클린룸의 부유입자 측정 기준은 ISO 14644-1에 의해 정의됩니다. ISO 14644-1은 클린룸의 공기 청정도를 0.1μm, 0.5μm, 5.0μm 크기의 입자 농도를 기준으로 A~D 등급으로 분류합니다. A등급이 가장 깨끗하고 D등급이 가장 먼지가 많습니다.

4. 측정 주기

클린룸의 부유입자 측정 주기는 클린룸의 등급과 운영 상황에 따라 다릅니다. 일반적으로 주 1회 이상 측정하는 것이 권장됩니다.